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离子探针质量显微分析仪

离子探针质量显微分析仪

离子探针质量显微分析仪(ion microprobemass analyzer),以聚焦很细(1~2 微米)的高能(10~20 千电子伏)一次离子束作为激发源照射样品表面,使其溅射出二次离子并引入质量分析器,按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器,简称离子探针。

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