FIB(聚焦离子束,Focused Ion beam)是将离子源(大多数FIB都用Ga,也有设备具有He和Ne离子源)产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后作用于样品表面。作用:
1.产生二次电子信号取得电子像.此功能与SEM(扫描电子显微镜)相似
2.用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工。
3.通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应,有选择性的剥除金属,氧化硅层或沉积金属层。
想要了解更多“FIB(聚焦离子束)”的信息,请点击:FIB(聚焦离子束)百科
FIB(聚焦离子束,Focused Ion beam)是将离子源(大多数FIB都用Ga,也有设备具有He和Ne离子源)产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后作用于样品表面。作用:
1.产生二次电子信号取得电子像.此功能与SEM(扫描电子显微镜)相似
2.用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工。
3.通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应,有选择性的剥除金属,氧化硅层或沉积金属层。
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